◆ PSLM PMP 可編程相位調制輪廓測量技術◆ 自有專利四/八方向投射同步結構光技術◆ 圖像採集採用遠心鏡頭◆ 高解析度圖像處理系統◆ 可使用Gerber導入進行程式編輯◆ 強大的統計分析功能(SPC)◆ 高度重複性精度:<1um(3sigma)