測量原理:3D白光PSLM、 PMP(光柵相位測量技術)測量項目:體積、面積、高度、XY偏移、形狀檢測不良類型:漏印、少錫、多錫、短路、偏移、形狀不良、板面汙染相機圖元:4M鏡頭解析度:18µm (15µm:選配)FOV視野尺寸:36*36mm精度: XY解析度:1µm;高度:0.37µm重複精度:高度≦1µm(3 Sigma);面積<1%(3 Sigma)檢測重複性:<10%速度:0.5s/FOVZ軸實時高度補償板彎系統